| 1. Identificação | ||||
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) | |||
| Site | mtc-m21c.sid.inpe.br | |||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/3SR38HL | |||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.27.14.18 | |||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.27.14.18.11 | |||
| Última Atualização dos Metadados | 2021:03.04.02.45.46 (UTC) administrator | |||
| Chave Secundária | INPE--PRE/ | |||
| Chave de Citação | Cunha:1984:SiDeFi | |||
| Título | Sistema para deposição de filmes finos através de RF-sputtering termionicamente sustentado  | |||
| Ano | 1984 | |||
| Data de Acesso | 25 maio 2024 | |||
| Tipo Secundário | PRE CN | |||
| 2. Contextualização | ||||
| Autor | Cunha, S. P. | |||
| Grupo | LAS-INPE-BR | |||
| Afiliação | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||
| Nome do Evento | Reunião Anual da Sociedade Brasileira para o Progresso da Ciência (SBPC), 36 | |||
| Localização do Evento | São Paulo, SP. | |||
| Data | 04-11 jul. | |||
| Histórico (UTC) | 2019-02-27 14:18:27 :: simone -> administrator :: 1984 2021-03-04 02:45:46 :: administrator -> simone :: 1984 | |||
| 3. Conteúdo e estrutura | ||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | |||
| Estágio do Conteúdo | concluido | |||
| Transferível | 1 | |||
| Tipo do Conteúdo | External Contribution | |||
| Resumo | Após uma revisão a respeito de sistema para deposição de filmes finos através de "sputtering", propõe-se neste trabalho um projeto de construção de um sistema para deposição através de "RF-Sputtering" termionicamente sustentado com a utilização de confinamento magnético. Este equipamento possibilitará deposições de materiais isolantes, tais como: SiO2, TiO2, C e outros a pressões de bases de ordem de 10-2 Pa que permite a obtenção de filmes com maior pureza que os obtidos através dos sistemas usuais. O sistema na sua totalidade pode ser construído com materiais e equipamentos nacionais, desde as bombas de vácuo e difusora até a fonte de RF, eletrodos e passantes. | |||
| Área | FISMAT | |||
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Sistema para deposição... | |||
| Conteúdo da Pasta doc | não têm arquivos | |||
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos | |||
| Conteúdo da Pasta agreement |
| |||
| 4. Condições de acesso e uso | ||||
| Idioma | pt | |||
| Grupo de Usuários | simone | |||
| Grupo de Leitores | administrator simone | |||
| Visibilidade | shown | |||
| Permissão de Atualização | não transferida | |||
| 5. Fontes relacionadas | ||||
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 | |||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 | |||
| Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 | |||
| 6. Notas | ||||
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist booktitle callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor electronicmailaddress format isbn issn keywords label lineage mark nextedition notes numberoffiles numberofvolumes orcid organization pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress readpermission resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle size sponsor subject targetfile tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume | |||
| 7. Controle da descrição | ||||
| e-Mail (login) | simone | |||
| atualizar | ||||